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PRODUCT CENTER

產品中心

當前位置:首頁產品中心真空封管機分子泵組TP22-90分子泵組

分子泵組
產品簡介:

分子泵組主要用于真空鍍膜、半導體、電子、加速器技術、等離子體技術、物理化學實驗室,電真空器件制造及真空的各個領域。

產品型號:TP22-90

更新時間:2025-06-12

廠商性質:生產廠家

訪問量:1652

服務熱線

0755-22275795

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產品介紹

分子泵組特點:

★ 真空度讀顯功能,集成化一體設計

★ 結構緊湊,體積小,便于放置搬運

★ 系統內置破空電磁閥

★ 極限真空度10-8mbar

★ 即插即用式設計可實現簡單的一鍵式操作


用途:

分子泵組主要用于真空鍍膜、半導體、電子、加速器技術、等離子體技術、物理化學實驗室,電真空器件制造及真空的各個領域。可配合江麥的真空探針臺、真空封管機等需要真空環境的設備一同使用。


產品規格參數:

型號

TP22-90

控制方式

一鍵啟動

分子泵

TURBOVAC 90i

分子泵抽速

90L/S

前級泵

雙極旋片油泵(可選:浮動式渦旋干泵1.2m3/h)

前級泵抽速

2m3/h

復合真空計

PTR90(大氣至5*10-7Pa)

極限真空度

10-8Pa

抽氣接口

KF40(可選KF25、KF16)

冷卻方式

風冷

系統漏率

1*10-10Pa.m3/s

電源

220V 50HZ

外形尺寸

400*340*260(長*高*深)(單位mm)

重量

18kg






















儀器使用維護與故障診斷

在安裝、操作儀器時應避免碰撞,機體放置需平坦,不可傾斜或橫倒,避免機器發生故障或異常異音。


儀器的使用和維護

n儀器運輸時,請先拔掉電源線插頭。

n儀器運輸應使用專門的包裝箱,避免碰到探針臺的任何運動部件。

n使用完后需要注意保持清潔,盡量把灰塵吹干凈,以免灰塵將機械精密部件、光學部件、電學接觸面污染,導致儀器精度降低。

n儀器機體清潔時,避免直接潑水清理,以無塵布輕輕擦拭并吹干即可,不可用硬物接觸機器,以免發生故障或危險。

n儀器顯示器部件清潔時,可用鏡頭紙蘸不含水酒精從中間向外輕輕的擦拭。不含水酒精是易燃物,注意使用安全。

n停電或長期不用、外出旅行時,請將電源線插頭拔掉以維護機器壽命。

n操作人員必須嚴格按要求操作,以保證數據的準確和儀器的正常使用。



常見故障的排除

當您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。


癥狀

可能原因

解決方法

打開總開關顯示器無顯示

外接電源無電壓輸入

電源開關損壞

檢查電源線

更換電源開關

真空度不好

真空泵受損

檢查真空泵

系統存在泄露

檢查系統漏點,更換配件

真空計被污染

關閉系統,聯系廠家維修

管路或腔體被污染

清潔管路或腔內表面

按下按鍵無效

操作不當,系統內部存在安全聯鎖

檢查操作是否有誤

按鍵損壞或線松動

檢查線路是否松動,按鍵是否損壞,并聯系廠家售后

前級泵異響

破空閥門未關閉

檢查破真空電磁閥是否關閉

機械泵已損壞

關閉系統,聯系廠家維修

分子泵異響

泵體內部存在異物

關閉系統電源,分子泵從處于停止狀態,拆開法蘭取出異物;檢查受損狀況,聯系廠家

分子泵軸承損壞

關閉系統,聯系廠家



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