主體

HT1000

機柜：材質Q235A烤漆，可安裝五路氣路    

電器：PLC+觸摸屏+配套軟件

質量流量控制器

CS1

CS100系列  控制精度：±1.0%S.P.(≥35%F.S.)；±0.35F.S. (＜35%F.S.)耐壓3MPa(單個通道數量)

CS2

CS200系列  控制精度：±1.0%S.P.(≥35%F.S.)；±0.35F.S.(＜35%F.S.)耐壓3MPa(單個通道數量)

D19

D07-19B系列 控制精度：±1.0%F.S 耐壓3MPa(單個通道數量)

D07

D07-7B系列 控制精度：±1.5F.S 耐壓3MPa(單個通道數量)

氣化室

G

溫度范圍：RT-500℃ 控溫精度：±2℃

管路伴熱

T

溫度范圍：RT-150℃ 控溫精度：±2℃

鼓泡器

D

容積：300mL

氣液分離器

SP

容積：500mL

儲液罐

R

容積：150mL

水冷機

W

總流量大于500ml/min,溫度高于300℃需要配水冷機

特殊要求

V0

進出氣接口規格默認1/4，可選3mm、1/8、6mm、1/4、3/8、1/2

注液泵

LA

蠕動泵流量范圍:0.0053～775ml/min  分辨率：0.01ml/min

LS

注射泵流量范圍:0.008nl/min～165.871ml/min  分辨率：1ul/min

LF

柱塞泵流量范圍:0.001～9.999ml/min  精度＜0.1%

測試臺

HL22-4

具體選型和價格參照HL22選型手冊

HL22-6

具體選型和價格參照HL22選型手冊

HP24-4

具體選型和價格參照HP24選型手冊

HP24-6

具體選型和價格參照HP24選型手冊

光催化氙燈光源

XL

CEL-PF300-T6(20個太陽光)